ＭＨＺ洗浄装置(MS-6000Series, MS-8000Series)
【企業情報】
2005年3月現在
| 企業名 |
（日本語）日本ファインテック（株） （英語）Japan Finetech Co., Ltd. |
| 所在地 |
福岡県鞍手郡宮田町大字上有木字高平1438-4 |
業 種 |
精密機械器具製造業 |
| 国 名 |
日本 |
| 年 商 |
440,000万円 |
資本金 |
3,200万円 |
| 従業員数 |
130人 |
技術者数 |
36人 |
設立年月 |
1974年4月 |
| 企業概要・特色 |
当社は、設計製造技術を活かし、独自の装置の製造及び販売を手がけている。 また、半導体装置を主製品に持ち、新たに計測装置事業に進出する予定である。 |
| 海外との取引経験 |
日本企業の海外法人並びに商社経由での海外企業との取引あり。 |
| 海外との希望取引形態 |
商社を通じての取引を希望（数社の取引先予定あり）。 |
【製品・技術情報】
| 製品・技術名 |
ＭＨＺ洗浄装置(MS-6000Series, MS-8000Series) |
| 技術分野 |
洗浄 |
利用分野 |
半導体製造 |
技術概要
当技術は、洗浄水にメガヘルツ超音波を加え、ウェハー上のパーティクルを除去するものである。
特徴・効果（システム図等を含む）
１）高洗浄力と低コストを同時実現
２）省スペース：1.17m2(MS-8000type-Ⅱ)
３）バーコードによる上位コンピューターとの通信機能付
４）シンプルな操作性と高い信頼性
仕様
- 適用キャリア：6インチ、8インチ
- 適用ウェハー：6インチ、8インチ
- 処理能力：25ウェハー/40分
- パーティクル除去率：90％以上（0.2μm以上）
- 電源：AC100V,50/60Hz,50A
- 洗浄用純水：300L/Hr、 0.15～0.5Mpa
- 高圧エアー：0.11m3/nin、0.5Mpa
- 排水系：ピーク時 300L/Hr
- 排気：2.8m3/min
- ラインバキューム：-65kpa
| 納入実績 |
日本 |
32台 |
| 海外 |
12台 |
| 日本での特許事項 |
なし |
| 海外での特許事項 |
なし |
| ノウハウ事項 |
あり |
| 日本で満たしている法規制 |
なし |
| 海外における関係法規 |
不明 |
| 関連キーワード |
半導体、洗浄、ウェハー、パーティクル |
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